设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88364963

电子邮箱: txt@icm.sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 陶绪堂

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: K975X 10e-3pa

所属科研设施:

主要功能: 用于金、银等贵金属的蒸发镀膜和其它金属及导电化合物的溅射。

主要技术指标: 1、真空度5*10E-3Pa 2、多源多容器蒸发，包括钨篮、钨螺旋、氮化硼坩埚 3、电脑自动控制进气方式和蒸发、溅射过程

安放地址: 山东大学

服务内容: 用于金、银等贵金属的蒸发镀膜和其它金属及导电化合物的溅射。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。