设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 交通运输工程, 测绘科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65983429

电子邮箱: xuxiangfan@tongji.edu.cn

通讯地址: 同济大学物理科学与工程学院

邮政编码: 200092

联系人: 徐象繁

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: FEI Nova 450，NPGS V9.0

所属科研设施:

主要功能: 功能：表面形貌观察 应用范围： 物理科学或材料科学。

主要技术指标: 真空系统 干泵，分子泵抽速>220l/s，真空度<5E-6 mbar 样品腔 110mm x 110mm五轴马达驱动样品台，-15度到75度旋转 电子枪 场发射，电压：50V-30kV，最大束流：200nA；30kV电压下分辨率：0.8nA；减速模式 等离子清洗 原位沉积系统(GIS) 铂Pt 探测器 In-lens SED(TLD-SE探测器)；In-lens BSED（TLD-BSE探测器）；Everthart-Thomley SED（ET二次电子探测器）；Low-Vacuum SED(LVD)（低真空二次电子探测器）

安放地址: 南校区第一实验楼517

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五

参考收费标准: 收费标准：校内、校外2种不同收费标准。收费方式：议价及其他。200元/小时。 备注: NPGS与FEI Nova 450 SEM联用, 其中150元/小时为SEM使用价格。