设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 028-85100203

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 高平

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: EVG620

所属科研设施:

主要功能: 纳米压印，紫外光刻及对准

主要技术指标: 光刻分辨率：0.6um.，套刻精度：小于0.5um

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: