设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [力学, 材料科学, 物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65983429

电子邮箱: xuxiangfan@tongji.edu.cn

通讯地址: 同济大学物理科学与工程学院

邮政编码: 200092

联系人: 徐象繁

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Nan o36*

所属科研设施:

主要功能: 功能：薄膜生长 应用范围：物理科学或材料科学(金属薄膜生长)。

主要技术指标: 1）Process chamber工艺腔体 16"x16"方形不锈钢腔体，包括胶圈密封，铰链连接，带有矩形观察窗的铝制前门。 2）Pumping system泵抽系统 260 l/s分子泵；6.8 cfm的油封机械泵和前级阀门；气动充气阀；适当环境下，极限真空可达到5 x 10-7 Torr或更低。 3）vacuum gauging真空测量系统 全量程真空计，测量范围为大气至10-10 Torr（复合了电离真空计和皮拉尼计）。

安放地址: 南校区第一实验楼525室

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五

参考收费标准: 收费标准：校内、校外2种不同收费标准。收费方式：议价及其他。厚度<50nm样品，300元/次； 厚度>50nm，300元/次 + 50元/10nm。 备注：金、铂及钯等贵重金属自备； 4英寸样品台，因此每次可以同时制备多个样品。