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脉冲激光沉积-磁控溅射系统的腔体  (收藏)

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记录

设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [测绘科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65980771

电子邮箱: fengliangchen@tongji.edu.cn

通讯地址: 南校区第一实验楼606

邮政编码: 200092

联系人: 周仕明

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: **

所属科研设施:

主要功能: 薄膜样品制备

主要技术指标: 激光沉积系统极限真空度:6.6×10-7 Pa 激光沉积系统样品托最高稳定温度:800 ℃ 磁控溅射系统极限真空度:6.6×10-6 Pa 磁控溅射系统加热炉最高稳定温度:750 ℃

安放地址: 第一实验楼613

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 收费标准:校内、校外2种不同收费标准。收费方式:按小时收费。校内:400到 元/小时;校外:600到 700元/小时。



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