设备分类编码: 030199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65935464

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联系人: 张之胜

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>其他

规格型号: NewView 7100

所属科研设施:

主要功能: 测量各种面的形貌，包括粗糙度、面型精度、倾斜度和台阶高度；

主要技术指标: 垂直分辨率小于0.1nm;垂直测量范围20mm，配有1×，2×，10×，20×，50×物镜； 水平分辨率优于1um，视场范围不小于9mm，不同视场之间可自动缝合拼接，大于10cmX10cm测量面积； 线宽测量：线宽测量精度大于0.5um； RMS重现性小于0.01nm； 台阶仪高度重现性＜0.75%； 摄像头点阵不小于640×480。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: