设备分类编码: 010104

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-84110197

电子邮箱: liangchl@mail.sysu.edu.cn

通讯地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号中山大学测试大楼116室

邮政编码: 510275

联系人: 谢方艳

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子能谱仪

规格型号: ESCALab 250

所属科研设施:

主要功能: 光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一，可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息；可对非均相覆盖层（如薄膜）进行深度分布分析，了解元素随深度分布的情况；可对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像；还可利用UPS（紫外光电子能谱）研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。

主要技术指标: 能量扫描范围：1-1100 eV 最佳能量分辨率：≤0.45 eV (XPS)、100 meV (UPS) 最佳空间分辨率：≤3 μm (X射线光电子成像) 最佳灵敏度：1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰) 分析室最佳真空度：优于2×10-10 mbar快速进样室最佳真空度：7×10-9 mbar 分析室工作时的真空度：～2×10-9 mbar（打开X射线源的情况下）

安放地址: 新港西路135号中山大学

服务内容: 服务项目：常规XPS分析；Ar离子刻蚀深度剖析；UPS测试；光电子能谱仪可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息；对非均相覆盖层（如薄膜）进行深度分布分析，了解元素随深度分布的情况；可对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像；利用UPS（紫外光电子能谱）可研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。

服务的典型成果: 光电子能谱的应用涵盖了物理、化学、材料、医疗、地质、环境、微电子等学科，主要应用成果包括：在大气环境检测中，利用X射线光电子能谱（XPS）分析了沉积在广州周边不同地区不同季节的粉尘颗粒沉积物表面的气态物种的主要元素组成及化学态分析；对多层膜的成份、厚度、界面扩散情况进行分析，为膜层的制备及多层膜结构的改善提供思路；对集成电路板等进行失效分析，找到电路板的失效原因；对催化反应前后的催化剂进行元素价态分析等。

对外开放共享规定: 校内用户请登录http://lims.sysu.edu.cn/index.asp；校外用户请联系020-84113210。

参考收费标准: 收费标准请查看网页：http://lims.sysu.edu.cn/DeviceIndex.htm