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光刻机  (收藏)

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设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-84315491

电子邮箱: colourbright@hotmail.com

通讯地址: 南京理工大学

邮政编码: 210094

联系人: 范德松

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ABM/6/350/nuv/dccd/m

所属科研设施:

主要功能: 微加工

主要技术指标: 微米级

安放地址: 孝陵卫200号

服务内容: 微米级辐射腔结构加工、传热强化微通道加工、传热强化微结构加工。

服务的典型成果: 1、每年为本科生毕业论文、科研训练提供服务40余人次;2、为研究生的柔性微小平板热管毛细结构加工、辐射微腔的加工提供服务。

对外开放共享规定: 采取网上预约或电话预约

参考收费标准: 视情况而定



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