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光谱椭偏仪  (收藏)

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设备分类编码: 010499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88366188

电子邮箱: lianjie@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 连洁

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他

规格型号: GES5 210NM-2000NM

所属科研设施:

主要功能: 可用于一下研究工作:各种信息功能材料和器件的光学常数测量和光谱学特征分析;薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析;信息功能材料的组成测量及分析;半导体材料的实时、在线工艺质量检测,评估和分析;物理化学的吸收;激光、粒子束与材料相互作用引起的损伤;生物及医学涉及到的表面特性等。

主要技术指标: 1.光谱范围:210nm-2000nm 2.光谱分辨率:优于1nm 3.光源:稳定的氙灯,寿命﹥1000小时 4.载物台:150mm直径载物,可很好地单独调节高度和倾斜度, 5.入射角:40度-90度可调,角度分辨率优于0.01° 6.探测器:光电倍增管,有效响应范围:200-2100nm

安放地址: 山东大学

服务内容: 信息科学

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8:00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。



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