设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-84315433

电子邮箱: wangqing@mail.njust.edu.cn

通讯地址: 南京理工大学

邮政编码: 210094

联系人: 王青

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: PMC-90S

所属科研设施:

主要功能: 制备各种光学介质膜如Tiu、Sio2，ZrO、Al2O3等

主要技术指标: 真空室900mm 180度电子枪2把End-hall离子源，温度达300 摄氏度，真空度达 1e-7tovv可制备各种光学介质化合物

安放地址: 孝陵卫200号

服务内容: 教学

服务的典型成果: 光学实验

对外开放共享规定: 孝陵卫200号

参考收费标准: 视情况而定