设备分类编码: 010204
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 020-87236477
电子邮箱: kjc@ceprei.com
通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号
邮政编码: 510610
联系人: 章晓文
仪器所属类别: 分析仪器>>质谱仪器>>离子探针
规格型号: MP-2000
所属科研设施:
主要功能: 用于测量开装器件、圆片以及圆片划片后的小芯片
主要技术指标: 圆片盘在X、Y轴方向的移动距离是8英寸,分辨率是0.1微米,在Z轴方向是0.2英寸、0.02微米.探针台内置防震气垫;探针台上的显微镜最大放大倍数是500倍,激光功割装置用于切割IC中的微小线条
安放地址: 401楼
服务内容: 按客户要求
服务的典型成果: 检测报告
对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法
参考收费标准: 按服务内容报价