设备分类编码: 010104

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 江柯敏

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子能谱仪

规格型号: AXIS UTLTRADLD

所属科研设施:

主要功能: 用于定性及半定量分析材料表面元素，分析材料表面价态、逸出功，观察材料表面元素分布形貌，在金属、合金、半导体、无机物、有机物、各种薄膜等许多固体材料的研究中都有很多成功应用的实例，主要用途如下： 固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析,样品表面的微区选点分析,元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）； ？ 固体样品表面的组成、化学状态分析，广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定、富集法微量元素分析、元素价态鉴定； 对氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包袱等微观机理研究；

主要技术指标: X射线源： 15kV, 30mA(450W)清洁的Ag 3d5/2光电子峰，强度单位: cps XPS成像空间分辨率<3μm 紫外光电子能谱(UPS) 以表面清洁Ag4d在140 emV 分辨率下，灵敏度1,000,000 cps ，He I和 He II比例小于4：1 离子散射能谱(ISS)以表面清洁Au在FWHW<12eV下，灵敏度12,000cps/nA 低能量悬浮离子枪能量范围：50eV~5000eV，Ar离子枪在Ta2O5刻蚀速率40nm/min@4keV，2.2nm/min@500eV 扫描电子显微镜(SEM)场发射电子枪10kV，样品电流5nA下，分辨率<100nm 俄歇电子能谱测量Cu LMM峰在10nA束流，10kV束能，相对能量分辨率0.4%±0.05%下，灵敏度>50,000cps/nA，信噪比500：1 测试温度范围：-150℃~600℃ X射线能谱仪的元素分析范围：除H、He两种元素外的100多种元素（含量在0.1%以上）

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: