设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 信息与系统科学相关工程与技术, 自然科学相关工程与技术, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65643466

电子邮箱: f_fang@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号复旦大学材料科学系

邮政编码: 200433

联系人: 方方

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: PVD 75

所属科研设施:

主要功能: 有两个磁控溅射靶枪，一个直流，一个交流。可以制备金属、合金和氧化物薄膜。

主要技术指标: 直流靶、交流靶、500度

安放地址: 复旦大学材料一楼201室

服务内容: 制备金属、合金和氧化物薄膜。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 提前预约

参考收费标准: 300元/小时