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双束聚焦离子束  (收藏)

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设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-55664613

电子邮箱: zq_zhang@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号复旦大学材料科学系

邮政编码: 200433

联系人: 张兆强

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: Quanta200 3D

所属科研设施:

主要功能: 表面形貌观察,剖面形貌观察,精确定位制样,金属淀积,金属增强刻蚀

主要技术指标: 分辨率:8nm 加速电压:30kv

安放地址: 微分析楼A105

服务内容: 样品剖面制备,金属淀积,金属增强刻蚀

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 提前预约

参考收费标准: 1500元/小时



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