设备分类编码: 010202

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642393

电子邮箱: gyzhong@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号材料一楼102室

邮政编码: 200433

联系人: 钟高余

仪器所属类别: 分析仪器>>质谱仪器>>无机质谱仪

规格型号: IMS 6f

所属科研设施:

主要功能: 应用范围： 　（1）样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析； （2）样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析； （3）样品组分和杂质元素面分布的离子图象； （4）多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析； （5）厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析 学术特色: （1）进行包括元素氢（H）在内的全元素分析； （2）深度剖析IC工艺结深、表面金属化、背面金属化和表面钝化层等； （3）深度剖析半导体材料Si , GaAs , HgCdTe , Ge , AsGaIn 和 InP等中的杂质分布；（4）S

主要技术指标: 主要技术指标： 　(1)深度分辨率:几个纳米;(2)空间分辨率：一个微米;(3)质量分辨率:m /Δm 5000; （4）检测灵敏度: ppm~ppb;(5)绝缘层厚度为几个微米的样品质谱分析;(6)一次离子和二次离子的能量连续可调，适用于浅结分析

安放地址: 材料一楼102室

服务内容: （1）样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析； （2）样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析； （3）样品组分和杂质元素面分布的离子图象； （4）多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析； （5）厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析

服务的典型成果: 1 硅中硼含量测试，控制杂质含量，保证器件质量。 2 特殊合金元素种类和含量分析，提高冶金技术。 3 量子阱器件的结构和材料分析，提高器件性能。 4 IC电路，医疗器械，工业设备失效分析，保质量，保安全。

对外开放共享规定: 对外开放共享。可零散测试，也可签约服务。

参考收费标准: 1200-1800元/样品