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电子束光学镀膜机系统  (收藏)

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设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65646068

电子邮箱: lychen@fudan.ac.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号复旦大学信息学院光科学与工程系

邮政编码: 200433

联系人: 陈良尧

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: EPD-1100

所属科研设施:

主要功能: 光学薄膜生长

主要技术指标: 极限真空度8E-4Pa;光谱监控波长范围1430nm至1630nm;光谱获取时间少于50ms。

安放地址: 复旦大学邯郸校区净化辅楼B104

服务内容: 光学镀膜

服务的典型成果: Applied Physics Letter, Optics Express, Journal of Physical Chemistry C, etc.

对外开放共享规定: 按学校与学院规定执行

参考收费标准: 按镀膜时间与种类商议而定



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