设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642390

电子邮箱: rfrong@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号材料一楼406室

邮政编码: 200433

联系人: 戎瑞芬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: DISCOVERY 18

所属科研设施:

主要功能: 有2个DC溅射靶，可以在真空状态下溅射生成一类材料薄膜或多层不同薄膜，也可以两种不同的材料共溅射，溅射时衬底可加热，可自动操作，使用方便，对于研究材料和器件有很大作用。

主要技术指标: 真空度达1X10-6乇， 衬底温度可达100度 直流溅射电源功率1000瓦

安放地址: 材料一楼406室

服务内容: 溅射金属薄膜等

服务的典型成果: 完成科学研究，发表论文等

对外开放共享规定: 提前预约，告知制备薄膜所需材料和要求等

参考收费标准: 800元/样品