设备分类编码: 010899

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 纺织科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0574-86685021

电子邮箱: ldh@nimte.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李德宏

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>其他

规格型号: 订制

所属科研设施:

主要功能: 材料的微观形貌及结构缺陷分析。超高分辨率非破坏性3D成像Nano XCT-100是世界唯一的对微米体积样 品进行3D观察的实验室超高分辨率CT扫描系统。精密的X射线聚焦光 学系统提供了50nm的成像分辨率，将X射线CT的能力大大延伸至纳米尺度。当吸收衬度很低时，集成的Zernike相位衬度成像技术增强了所有边缘和界面的可视性。Nano XCT-100提供了可靠的3D体积信息， 而其它截面成像技术和破坏性方法只能获得部分信息。 主要应用领域 生命科学和生物医学研究； 半导体封装技术开发和失效分析；

主要技术指标: 高分辨：优于50nm真实空间分辨率，低分辨：150-200nm； X射线源：旋转阳极X射线源, X 射线管电压40 kV, 功率1.2kW ，Cu靶, 光子能量8keV； 反射式X射线聚焦系统, 适于X射线吸收和泽尔尼克相衬度两种成像模式, 带有XYZ/倾斜/摆动驱动台； 高精度4轴马达驱动CT样品台 运行范围：X轴12mm，Y轴10mm , Z轴12mm 运行精度：XYZ 20nm, 定位精度XYZ 100nm 旋转轴R ±140º, 运行精度0.004º, 定位精度0.01º 旋转样品误差(样品位置处): 硬件 < ± 1 μm, 软件修正后 ± 150 nm 最大样品重量：1Kg 系统装有防震装置，以减少外源性震动带来的图像模糊及结果误差 样品区域散热：温度控制 ≤ ±0.1ºC。 高效率X射线探测器, CCD相机通过光学系统耦合到闪烁体板： 像素数量：1024×1024 灰度级数：16 Bit 动态范围：16 位

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: