设备分类编码: 010499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65643290

电子邮箱: zhuliping@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市杨浦区邯郸路220号

邮政编码: 200433

联系人: 朱丽萍

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他

规格型号: uvisel-2

所属科研设施:

主要功能: 是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空。可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。可以应用于半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等领域。

主要技术指标: 主要用于膜厚以及折射率、消光系数等光学常数的测量 测量范围：190-2100nm 测量薄膜厚度： 小于10nm 相位调制：50KHz PEM调制 自动平台扫描成像

安放地址: 邯郸路220号

服务内容: 探测薄膜厚度、光学常数

服务的典型成果: 在Nature及其子刊、PRL等杂志上发表文章

对外开放共享规定: 遵守微纳加工实验室规章制度

参考收费标准: 500元/小时