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背面光发射显微镜  (收藏)

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设备分类编码: 010101

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87237725

电子邮箱: kjc@ceprei.com

通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号

邮政编码: 510610

联系人: 林晓玲

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>透射电镜

规格型号: Trivision

所属科研设施:

主要功能: 1、芯片漏电微光探测; 2、有效探测电路中密级互连线缺陷定位; 3、从芯片正面或者背面对芯片内部缺陷进行探测; 4、静态或动态激光扫描显微术。

主要技术指标: 1、像素:640(H)*512(V),像素间隙20微米; 2、QE>70%; 3、激光源:功率设定由电脑控制: (1)1064nm,功率范围0—500mW可调或100mW; (2)1340nm,功率范围0-500mW可调。 4、Lock-in激光调制放大器,提高信噪比>=7倍(典型值>=50倍); 5、复合ROI,具有图片拼接功能。

安放地址: 301楼

服务内容: 按客户要求

服务的典型成果: 检测报告

对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法

参考收费标准: 按服务内容报价



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