设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65648597

电子邮箱: zhanglijian@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市杨浦区邯郸路220号

邮政编码: 200433

联系人: 张立建

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Auriga

所属科研设施:

主要功能: 通过聚焦离子束的刻蚀和沉积制作纳米图形。用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可用于制备TEM样品和集成电路的失效分析等。主要具有以下功能：一、扫描电子显微镜SEM：各种材料形貌观察和分析；二、能谱分析仪EDS：材料微区成分分析；三、聚焦离子束系统FIB：材料微纳结构的样品制备，样品微观刻蚀与沉积等。

主要技术指标: 肖特基热场发射电子源（SEM），液态金属Ga 离子源（FIB），5路集成GIS气体注入系统 SEM加速电压：100V ～ 30kV SEM放大倍率：12X ～ 1000,000X SEM分辨率： 1.0nm @ 15kV1.9nm @ 1kV FIB加速电压：1kV ～ 30kV FIB放大倍率：300X ～ 500,000X FIB分辨率：2.5nm

安放地址: 邯郸路220号

服务内容: TEM制样，EDS，微纳结构刻蚀与沉积。

服务的典型成果: 在Nature及其子刊、PRL等杂志上发表文章

对外开放共享规定: 遵守微纳加工实验室规章制度

参考收费标准: 1000元/小时