设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 信息与系统科学相关工程与技术, 自然科学相关工程与技术, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642642

电子邮箱: zhangqun@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号先进材料楼205室

邮政编码: 200433

联系人: 张群

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: 自制

所属科研设施:

主要功能: 在真空环境中，利用脉冲电子束烧蚀靶材，在基板上形成薄膜。能够制备多种金属薄膜、氧化物薄膜等。

主要技术指标: 真空系统：105 - 10-4 Pa 电源供给：0 - 20 kV，0 - 4 mA 束流直径：1 mm 工作气压：1-3 Pa 脉冲宽度：100 ns 重复频率：1-40 Hz

安放地址: 复旦大学先进材料楼208室

服务内容: 金属薄膜、氧化物薄膜的制备

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 提前预约，告知制备薄膜所需材料和要求等

参考收费标准: 800元/样品