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电子扫描显微镜  (收藏)

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设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 工程与技术科学基础学科, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87236410

电子邮箱: kjc@ceprei.com

通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号

邮政编码: 510610

联系人: 施明哲

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: XL30

所属科研设施:

主要功能: 用于失效分析中的失效定位和缺陷分析

主要技术指标: 分辨率高,可达50Å或更高 (1Å=10-10m);放大倍数范围广,可以从几倍~几十万倍,连续可调,便于跟踪寻找缺陷并建立微观形貌与宏观形貌之间的联系;景深大,有很强的立体感,适于观察像断口那样的粗糙的表面;加配能谱仪或和波谱仪后,可同时进行成分分析

安放地址: 101楼

服务内容: 按客户要求

服务的典型成果: 检测报告

对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法

参考收费标准: 按服务内容报价



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