设备分类编码: 010499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 信息与系统科学相关工程与技术, 材料科学]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 13661679106

电子邮箱: caoronggen@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号复旦大学材料一楼201室

邮政编码: 200433

联系人: 曹荣根

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他

规格型号: n&k Analyzer 1280

所属科研设施:

主要功能: 适合6英寸至8英寸晶片的在线测量，同时完全有能力测量并监控从5um到90nm甚至更小临界尺寸的器件工艺流程

主要技术指标: 全自动光学测量，测量范围200nm~5000nm

安放地址: 邯郸路220号复旦大学材料一楼201室

服务内容: 测量集成电路器件工艺流程中从5um到90nm的薄膜的光学参数

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 每周三8：00~16：30对外开放预约

参考收费标准: 500元/小时