设备分类编码: 030120

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-55664845

电子邮箱: sjding@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号复旦大学微电子楼314室

邮政编码: 200433

联系人: 丁士进

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>纳米测量机

规格型号: TI 700 Ubi

所属科研设施:

主要功能: 原位纳米压痕力学测试 划痕及摩擦磨损试验

主要技术指标: 样品高度最好小于10mm 表面要平整，起伏在100nm范围 划痕及摩擦磨损，划痕长度设定需小于20um，摩擦磨损的载荷力Setpoint需小于98uN。

安放地址: 复旦大学微电子学楼净化实验室1楼测试间

服务内容: 样品测试

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 内部共享

参考收费标准: 协商