设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642872

电子邮箱: gdzhu@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市邯郸路220号复旦大学材料科学系

邮政编码: 200433

联系人: 朱国栋

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: autoprobe cp

所属科研设施:

主要功能: 能对各类样品（包括绝缘体、半导体和导体）表面进行纳米级成像，表征、分析样品表面的结构和形貌，绘制表面的结构和形貌的两维和三维图；给出样品的表面的微粗糙度的最大起伏值、平均值和均方根值；能测量样品表面的纳米至微米量级的颗粒度和颗粒度分布和颗粒间距和比表面积，给出相应的图表和曲线。对半导体和导体样品通过STM的电学谱测量（如I-V,dI/dV-V曲线），给出样品表面的电导率及其分布，电荷分布和电子态密度等电学和电子学信息。本仪器被广泛应用于微电子工艺中对硅片表面平整度、缺陷、图形尺寸和线条深度的分析；各类物理

主要技术指标: 扫描范围 100 um (微米）纵向分辨率0.1 A (埃），横向分辨率 1 A(埃）。能获得高定向热解石墨的原子图像。兼有扫描隧道显微镜（STM)和原子力显微镜(AFM)的功能。

安放地址: 复旦大学材料二楼102室

服务内容: 表面形貌测试及表面结构分析

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 提前预约

参考收费标准: 300元/样