设备分类编码: 010103

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, Z00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-39943195

电子邮箱: 2274041067@qq.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘扬

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子探针

规格型号: PM5 POWER 温度25~300℃,均匀性:±1.5℃

所属科研设施:

主要功能: 满足6英寸晶圆的在片测试

主要技术指标: 温度均匀性±0.9℃,温度范围25－300℃,温度精度0.02℃

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: