设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-87953722

电子邮箱: yawang@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 王亚

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: Quata 3D FEG

所属科研设施:

主要功能: 聚焦离子束技术（FIB）是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。它可用来分析样品化学成分、进行生物研究以及制造保持血管畅通的心脏固定膜等微型医学植入材料。其基本功能可概括为: 定点切割, 选择性的材料蒸镀,强化性蚀刻或选择性蚀刻, 蚀刻终点侦测。在透射电镜试样制作方面，聚焦离子束显微镜是一个优

主要技术指标: 30KV,30KV/1.2nm,7nm

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无