设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-37231385

电子邮箱: kjc@ceprei.com

通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号

邮政编码: 510610

联系人: 方文啸

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: S-4300

所属科研设施:

主要功能: 主要用于失效分析中失效定位和缺陷分析。

主要技术指标: （1）二次电子像分辨力：高真空：≤1.0nm 15kv(SE)/≤1.8nm 1kv(SE)；低真空：≤1.5nm 10kv(SE)/≤1.8nm 3kv(SE)； （2）电压/束流/倍率：加速电压：0.2～30kv；束流：0.3～20nA；最小25倍，最大100万倍； （3）样品室及样品台：样品室内径：≥200mm；X、Y＝100mm/Z=60mm(30mm自动)。

安放地址: 401楼

服务内容: 按客户要求

服务的典型成果: 检测报告

对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法

参考收费标准: 按服务内容报价