设备分类编码: 010499
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [化学, 材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0574-86685136
电子邮箱: zhulihui@nimte.ac.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 朱丽辉
仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他
规格型号: GDA750HP
所属科研设施:
主要功能: 用于渗碳渗氮材料、金属镀层、半导体、涂层的表面深度定性、定量分析 和金属材料成份分析。目前,仪器配置的定量分析方法如下: ●硅片或二氧化硅上CuInGaSe等深度分析; ●硅片或二氧化硅上SiC,TiB,VC,VN等深度分析; ●锂电池深度分析; ●钕铁硼材料深度分析; ●渗碳渗氮材料深度分析。 ●钢铁材料成份定量分析:针对高、中、低合金钢和工具钢的定量分析方法。
主要技术指标: ●光源:有DC光源(用于导体材料样品测试)和RF光源(用于含有非导体材 料样品测试),最大功率300W,2W可调; ●光栅:凹面全息光栅,焦距0.75米,2400线/mm; ●波长范围:119nm~800nm; ●分辨率:优于0.024nm; ●溅射速率: 2~5μm/min; ●深度剖析的范围:1nm~200μm; ●检出限:钢铁中C,S,P,N的检出限不大于5ppm。
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: