设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65648597

电子邮箱: zhuliping@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市杨浦区邯郸路220号

邮政编码: 200433

联系人: 朱丽萍

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: Nano36

所属科研设施:

主要功能: 在高真空下，采用电阻式蒸发原理，利用大电流在蒸发舟上加热所蒸镀材料，使其在高温下熔化蒸发，从而在样品上沉积所需要的薄膜。通过调节所加电流的大小，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率。通常适合熔点低于1500oC的金属薄膜的制备。

主要技术指标: 可在高真空下蒸发高质量的不同厚度的金属薄膜，广泛应用于物理，生物，化学，材料，电子等领域。 蒸镀薄膜种类：Au, Cr, Ag, Al, Cu, In等 极限真空：2E-7 Torr（ 30分钟从 atm 抽到 5E-6 Torr ） 薄膜均匀性：±4% （ 4英寸 ） 装片：小于4英寸的任意规格的样品若干 样品台：带连续旋转，转速 0-20 rpm。在位倾斜角度 -45 - 45 可调

安放地址: 邯郸路220号

服务内容: 蒸镀金属等材料

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵守微纳加工实验室规章制度

参考收费标准: 600元/小时