设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 自然科学相关工程与技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65643290

电子邮箱: whengliang@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市杨浦区邯郸路220号

邮政编码: 200433

联系人: 王恒亮

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MA6；最小线宽小于0.8um，光刻正胶敏感波长365nm，光刻负胶敏感波长400nm

所属科研设施:

主要功能: 转移微米/亚微米图形

主要技术指标: 最小线宽小于0.8um，光刻正胶敏感波长365nm，光刻负胶敏感波长400nm

安放地址: 邯郸路220号

服务内容: 微米图形制作

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵守微纳加工实验室规章制度

参考收费标准: 600元/小时