设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65648597

电子邮箱: zhuliping@fudan.edu.cn

通讯地址: 上海市杨浦区邯郸路220号

邮政编码: 200433

联系人: 朱丽萍

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: LAB18

所属科研设施:

主要功能: 主要用于微纳器件加工及光学薄膜、电输运性质测量过程中高质量、厚度精确控制的金属及氧化物薄膜的蒸镀。主要蒸镀材料包括：钛、金、镍、银、铝、三氧化二铝、二氧化硅等薄膜等金属单质、氧化物等；并特别考虑对Liftoff工艺的适合性。

主要技术指标: 系统的极限压强可达≤5x10-8Torr；30分钟从大气压抽到≤5x10-6Torr;坩埚的数目4个，坩埚的容量不小于7cc;电子枪功率不小于5kW。

安放地址: 邯郸路220号

服务内容: 蒸镀薄膜

服务的典型成果: 在Nature、PRL等杂志上发表论文

对外开放共享规定: 遵守微纳加工实验室规定

参考收费标准: 800元/小时