设备分类编码: 010802

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88363350

电子邮箱: hukeming@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 王克明

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>激光共焦显微镜

规格型号: SMI3050规格nm级

所属科研设施:

主要功能: 样品刻蚀：采用Ga离子对样品进行刻蚀；沉积：形成微结构（C/Pt）;观察，样品尺寸：<50*50*20mm;

主要技术指标: FIB影像分辨率：5nm；加速电压：5-30KV;离子束稳定性：0.1μm/10min；离子源使用寿命：>1000小时；多通道气体供应系统：不少于4通道；

安放地址: 山东大学

服务内容: 样品刻蚀：采用Ga离子对样品进行刻蚀；沉积：形成微结构（C/Pt）;观察，样品尺寸：<50*50*20mm;

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。