设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: yqwang2008@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王逸群

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: OPTIcoat

所属科研设施:

主要功能: 适用于2-6英寸衬底，1-10000转高精度旋转涂布

主要技术指标: 落地式全自动涂胶机，转速范围1-1000rmp；加速度范围1-5000rmp/sec;旋转精度±2rmp;热板：最高300度；温度分辨力0.1度（<100度）；温度均匀性<0.5度；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: