设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [电子与通信技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0512-62872517
电子邮箱: hjhuang2007@sinano.ac.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 黄宏娟
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: AccuScribe Titan
所属科研设施:
主要功能: 切割蓝宝石、GaN类样品,标准切割深度20μm±10%; 标准切割线宽5μm
主要技术指标: 划片深度:20μm±10%,切缝宽度:5.0μm
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: