设备分类编码: 010405

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0579-82298847

电子邮箱: wuqiong@zjnu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 吴琼

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>光电直读光谱仪

规格型号: EUR 211111

所属科研设施:

主要功能: 用于MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro Fluidics, Sensors, CGHs和其他微观研究领域。

主要技术指标: 刻写最大面积 200 x 200 mm2 ，焦距离达到 0.6 μm ，?最小分辨距离50 nm。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: