设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [生物学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83792432

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 吕华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: MA6

所属科研设施:

主要功能: 平板照相印刷（将掩模图案转移到晶圆表面）。

主要技术指标: 晶圆尺寸：6寸；线宽？ 1？m；X ？10 mm, Y ？5 mm, ？ ？5？；多种曝光模式可选。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: