设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62232054

电子邮箱: zsun@phy.ecnu.edu.cn

通讯地址: 中山北路3663号

邮政编码: 200062

联系人: 孙卓

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: FED

所属科研设施:

主要功能: 用于高真空环境下的电子器件封装；场发射器件、真空电子器件的封装排气等/fed真空封装

主要技术指标: 真空度：5×10-4真空<10-5pa 机械泵：4升/分钟；分子泵：600升/秒 温度：25-600？C 手动/计算机控制

安放地址: 中山北路3663号

服务内容: 专业产品封装，科研及合作

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 通过上海市公共服务平台申请，电话预约，送样来测

参考收费标准: 300/机时