设备分类编码: 120303
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 021-62232054
电子邮箱: zsun@phy.ecnu.edu.cn
通讯地址: 中山北路3663号
邮政编码: 200062
联系人: 孙卓
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备
规格型号: FED
所属科研设施:
主要功能: 用于高真空环境下的电子器件封装;场发射器件、真空电子器件的封装排气等/fed真空封装
主要技术指标: 真空度:5×10-4真空<10-5pa 机械泵:4升/分钟;分子泵:600升/秒 温度:25-600?C 手动/计算机控制
安放地址: 中山北路3663号
服务内容: 专业产品封装,科研及合作
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 通过上海市公共服务平台申请,电话预约,送样来测
参考收费标准: 300/机时