设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83792432

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联系人: 郑姚生

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: HPS306NS/C5A

所属科研设施:

主要功能: 电级修补机能够修补最大50inch的基板，能够在Glass基板上的Ag膜,ITO膜,Al膜,Cr膜（ITO膜,Al膜仅是Short Repair）上修补；可以通过修正液的吐出、干燥？固化进行修正；加工形状为Short Repair角型（Size可变式）、线型或者是圆形（Size可变）；最小加工Size：Short Repair最小５×５μｍ以下（使用20×Lens时）、Open Repair线宽５０μｍ以下；最大加工Size：Short Repair根据试料的加工所需要的Energy的变化Open Rep

主要技术指标: 功率：1mW——200mW；光斑：2um——30um;最高温度：450度

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: