设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 机械工程, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83792432

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联系人: 张旭海

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: FJL-560

所属科研设施:

主要功能: 制备各种金属、半导体等薄膜材料

主要技术指标: 溅射室极限真空度：≤6.67x10-6Pa (经烘烤除气后)； 进样室极限真空度：≤6.67x10-4Pa (经烘烤除气后) 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 达到极限真空短暂暴露大气后开始抽气：溅射室4-5小时后能抽到5X10-5Pa； 系统从大气开始抽气：进样室40分钟可达到6.6x10-3Pa 系统停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: