设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: whshi2007@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 时文华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: MSI50x6-L

所属科研设施:

主要功能: 通过等离子轰击靶材，在材料表面沉积金属薄膜

主要技术指标: 装片：一片六英寸衬底、或1片四英寸，向下兼容；可沉积材料：Al、Au、Cu、Ti、TiW；极限真空：1.8E-7mbar

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: