设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: yqwang2008@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王逸群

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MA6/BA6

所属科研设施:

主要功能: 通过紫外线光照，在材料表面形成预定图形

主要技术指标: 可加工晶片尺寸：2、4、6英寸；作业模式：vacuum、hard、soft、proximity;可加工最小尺寸：0.7um

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: