设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: yqwang2008@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王逸群

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: JBX-5500ZA

所属科研设施:

主要功能: 电子束曝光，

主要技术指标: Zr/W热场，4inch样品；加速电压：25KV，50KV；束流大小：30pA-20nA；偏转速度：12MHz；最小线宽：10nm；偏转精度：18bit

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: