设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0512-62872517
电子邮箱: bliu2012@sinano.ac.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 刘彬
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: 903e
所属科研设施:
主要功能: 等离子刻蚀si02、SiNx
主要技术指标: 装片系统:一片六英寸衬底,或1片四英寸,小片兼容;可刻蚀材料:SiO2,SiNx;刻蚀均匀性: ±5%以内;刻蚀速率:≤ 500nm/min
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: