设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: whshi2007@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 时文华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: System 100 ICP 380 CVD

所属科研设施:

主要功能: 通过等离子反应，在材料表面形成si02、SiNx等薄膜

主要技术指标: 装片：5片两英寸衬底；可淀积材料包括：SiO2，SiNx，SiC；ICP功率:<3000W；RF功率:<300W

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: