设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: whshi2007@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 时文华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: LAB 18

所属科研设施:

主要功能: 主要用于溅射金属薄膜，材料包括Al、Au、Cu、Ti、Cr、Ag、Ni、Pt和Pd等。

主要技术指标: 一次可镀制一片6寸样品或5片2寸样品， 温度均匀性：400℃±10℃

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: