设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: bliu2012@sinano.ac.cn

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联系人: 刘彬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: NLD-570

所属科研设施:

主要功能: NLD(neutral loop discharge，磁中性环路放电)较ICP而言，可对形成在真空腔内的磁场强度为0的环形磁中性线施加高频电场，并由此产生等离子体。通过改变电流大小可以控制等离子体的直径及密度，所以具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电等优点。可用于SiO2、石英、微透镜及SiC等材料的刻蚀。

主要技术指标: 设备配气：Ar、O2、O2（大、小量程之分）、CF4、C4F8、CHF3、C3F8、SF6。 Antenna RF：0-2000W。 Bias RF:0-1000W。 Shield：～+200℃。 chiller：-20～+40℃。 NLD COIL：60A

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: