设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: hjhuang2007@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 黄宏娟

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: ML 200Plus

所属科研设施:

主要功能: 通过激光将Si材料分割成一定大小的芯片，实现芯片的分割目的。

主要技术指标: 激光波长为1.08um，样品尺寸小于8英寸，硅片切割厚度不超过600um,划片槽大于10um。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: