设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0512-62872517
电子邮箱: bliu2012@sinano.ac.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 刘彬
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: Plasmalab System 100 ICP 180
所属科研设施:
主要功能: 利用刻蚀气体产生的等离子体进行刻蚀III/V族半导体材料,实现刻蚀图形的转移。
主要技术指标: icp:0-3000W、高深宽比刻蚀III/V半导体材料
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: